EX-731型熒光X-Ray元素膜厚儀是一款專門用來(lái)測(cè)試各種元素厚度的一種**儀器。采用多能譜分析器，使用256高頻分析器，光譜自動(dòng)分析.*高可測(cè)量3層膜厚.
供應(yīng)日本電測(cè)EX-731型熒光X-Ray元素厚度測(cè)量?jī)x膜厚儀X-Y-Z軸可移動(dòng)式測(cè)量臺(tái)參數(shù)
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測(cè)量臺(tái)操作方式 |
手動(dòng) |
自動(dòng) |
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測(cè)量行程 |
單位(mm) |
170 × 110 |
300 × 280 |
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移動(dòng)量 |
X(mm) |
70 |
80 |
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Y(mm) |
70 |
60 |
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Z(mm) |
80（測(cè)定物高*大150） |
50 |
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測(cè)定物高（*大） |
80（150可選） |
50 |
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外形(mm) |
600(W)×465(D)×730(H) |
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重量(kg) |
79 |
85 |
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測(cè)量臺(tái)載重(kg) |
3 |
1 |
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電源 |
AC200V±10V |
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供應(yīng)日本電測(cè)EX-731型熒光X-Ray元素厚度測(cè)量?jī)x膜厚儀技術(shù)參數(shù)
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X線源 |
油浸式小型微焦點(diǎn)Ｘ線管 |
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照射方式 |
上面垂直照射方式 |
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検出器 |
比例計(jì)數(shù)管 |
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準(zhǔn)直孔 |
5種類(自動(dòng)切換式) |
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樣品觀察 |
CCD鏡頭 |
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測(cè)定対象 |
原子番號(hào)22(Ti)～82(Pb) |
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濾波器 |
(Co、Ni)自動(dòng)切換 |
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厚度測(cè)定范圍 |
原子番號(hào)22～24：0.2～約20μm |
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検量線 |
検量線自動(dòng)作成 |
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測(cè)量功能 |
単層膜厚測(cè)定 |
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測(cè)量模式 |
自動(dòng)測(cè)量 |
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自動(dòng)測(cè)量臺(tái)功能 |
測(cè)定位置指定(X-Y-Z)
測(cè)定位置確認(rèn)功能 |
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數(shù)據(jù)処理機(jī)能 |
統(tǒng)計(jì)量表示：平均、標(biāo)準(zhǔn)偏差、*大、*小、方差、Cp、Cpk |